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同质外延和异质外延的差别以及各自的优缺点要求越全面越好

发布时间:2019-07-07 14:24 来源:未知 编辑:admin

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  同质外延:生长外延层和衬底是同一种材料,这种工艺就是同质外延;这类工艺简单,但成本较高。

  异质外延:外延生长的薄膜材料和衬底材料不同,或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层,相应的工艺就叫做异质外延;这类工艺复杂、成本较低,

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